ガラスウェーハは、シリコンの代わりにガラス素材を原料に薄く加工した、光学やMEMSといった最先端分野を支える基板です。
当社では、2～12インチまでの高性能ガラスウェーハを提供しています。
参考規格
| Diameter | 2" | 3" | 4" | 5" | 6" | 8" |
| Material | Glass | |||||
| Grade | Borofloat33, B270 and etc | |||||
| Thickness（μm） | 279 | 280 | 525 | 625 | 675 | 725 |
| Surface Finished | DSP/SSP | |||||
| TTV（μm） | <8 | <10 | <10 | <10 | <15 | <20 |
| Bow/Warp（μm） | <30 | <30 | <40 | <40 | <60 | <60 |
| Top Side Ra（nm） | <1 | |||||
| S/D（μm） | 40/20 | |||||
＊上記以外の規格に関しましては、お問い合わせください。
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