ダミーウェーハは初期の製造工程の向上と安全性を高めるために導入されることが多く、
主に形状確認の評価目的で使用されます。
参考使用値
| 項目 | 規格 | ||
| 直径 | 150mm | 200mm | 300mm |
| Type | P/N | P/N | P/N |
| Notch | SEMI/JEIDA | Notch/OF | Notch |
| 厚み | 675±25/625±25 | 725±25 | 775±25 |
| 表面 | Polished | Polished | Polished |
| 裏面 | Etched | Etched | Polished |
| 包装 | CoinRoll | CoinRoll | CoinRoll |
上記以外の特注品も対応可能です。ご希望の膜厚がありましたらご相談ください。
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