Dummy Wafer

半導体設備の後工程時の検査や実験に使用される評価用のダミーウェーハを販売しております。

ダミーウェーハは初期の製造工程の向上と安全性を高めるために導入されることが多く、

主に形状確認の評価目的で使用されます。

Reference Specifications

Item Specification
Diameter 150mm 200mm 300mm
Type P/N P/N P/N
Notch SEMI/JEIDA Notch/OF Notch
Thickness 675±25/625±25 725±25 775±25
Front Side Polished Polished Polished
Back Side Etched Etched Polished
Packaging CoinRoll CoinRoll CoinRoll

上記以外の特注品も対応可能です。ご希望の膜厚がありましたらご相談ください。

 

事業紹介

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