ウェーハ上に成膜加工されたものを膜付ウェーハ(成膜ウェーハ)と称します。
当社では熱酸化膜(SiO2)、窒化膜（LP-SiN）、TEOS膜、金属膜（W, Ti/TiN, Al, Cu）、レジスト、ポリシリコン膜などの多種類の膜付き製品を取り扱っております。
Reference Specifications
| SiN WAFER (Nilride) | |
| Material | Silicon |
| Diameter | 2-6 inch |
| Thickness | 100-1500um |
| Resistivity | As request |
| Orientation | 100/110/111 |
| Grade | Prime |
| Grow Method | CZ |
| Surface Finish | SSP/DSP |
| Flats | SEMI-Std |
| LAYER | Si3N4 |
| Layer Thickness | 100nm/300nm |
| Warp | <30um |
| Particles | <15@0.3 |
下記以外の膜種、膜厚、膜構成についてはお問い合わせ下さい。
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