ウェーハ上に成膜加工されたものを膜付ウェーハ(成膜ウェーハ)と称します。
当社では熱酸化膜(SiO2)、窒化膜（LP-SiN）、TEOS膜、金属膜（W, Ti/TiN, Al, Cu）、レジスト、ポリシリコン膜などの多種類の膜付き製品を取り扱っております。
200MM/300MM酸化膜ウェーハ
| 200MM | 300MM | |
| 酸化膜厚さ | 500±25nm | 500±25nm |
| 酸化膜厚さのバラつき （1枚のウェーハに対して） |
< 3％ | < 3％ |
| 酸化膜厚さのバラつき （複数のウェーハに対して） |
< 3％ | < 3％ |
| SPEC | 0.2μm≦30ea | 0.20um≤30ea |
| 直径(mm) | 200±0.2ｍｍ | 300±0.2mm |
| Type | P | P |
| 結晶方位 | <100>±1 | <100>±1 |
| ノッチ方位 | <110>±1 | <110>±1 |
| 抵抗値（Ω・cｍ） | 1-100 | 1-100 |
| 厚み（μｍ） | 725±25 | 775±25 |
| TTV（μｍ） | ≦25 | ≦10 |
| BOW（μｍ） | ≦40 | ≦40 |
| WARP（μｍ） | ≦40 | ≦40 |
| 表面不純物 | ≦5.0E 10 atom/cm2 | <1 E10 Atoms/cm2 |
下記以外の膜種、膜厚、膜構成についてはお問い合わせ下さい。
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